Introducción a la micro y nanofabricación
Dr. Hernán Pastoriza
CAB. CNEA
En esta charla se presentará una introducción a la
litografía, como sistema paradigmático de las
técnicas top-down de fabricación de
nanoestructuras. Discutiremos sobre sus
capacidades y limitaciones. Nos
concentraremos en litografía por haz de
electrones y algunas técnicas que permiten mejorar su resolución.
Mostraremos ejemplos de sistemas fabricados en el Laboratorio de Bajas Temperaturas del Centro Atómico Bariloche.