Difracción de Rayos X con incidencia rasante y reflectometría de rayos X
Dr. Diego Lamas.
CINSO (Centro de Investigaciones en Sólidos)
Se
discutirán las propiedades ópticas de los rayos X y se presentarán dos técnicas
de rayos X para el estudio de películas delgadas, recubrimientos y superficies:
la difracción de rayos X con incidencia rasante y la reflectometría
de rayos X. En ambos casos, se analizarán varios ejemplos.
La
difracción de rayos X de polvos convencional no es adecuada para el estudio de
películas delgadas o superficies porque normalmente tiene una penetración del
orden del mm. Para reforzar la señal de la superficie
es conveniente utilizar la geometría de incidencia rasante, en la cual se deja
fijo el ángulo de incidencia en un ángulo pequeño y se varía el ángulo entre el
haz incidente y el haz difractado, 2theta, moviendo solamente el detector. De
esta manera, se pueden realizar estudios similares a la difracción de polvos
pero manteniendo baja la profundidad de análisis, y así identificar las fases
de la superficie, estudiar su estructura cristalina, realizar un análisis
cuantitativo, etc.
Por otra
parte, la reflectometría de rayos X se basa en el
análisis del patrón de interferencia que se observa a bajos ángulos cuando
rayos X inciden sobre una película delgada o multicapas depositadas sobre un
sustrato de baja rugosidad. Esta técnica permite determinar el espesor de las
capas y las rugosidades de las interfases.