Microfabricación: Facilidades experimentales en el CAC
Dr. Alejandro Fasciszewski
CAC-CNEA
Antecedentes.Introducción al Micromecanizado.Dispositivos del “Nodo NANOTEC”.Descripción de la Sala Limpia Grupo MEMS (CAC-CNEA).Descripción de la construcción de los dispositivos del “Nodo NANOTEC”.Conclusiones