acta de conferencia
"Estudio de la transformación de fase de películas delgadas de TiO2 en función del voltaje de polarización"
Lina M. Franco, Mariana Fazio, Emilia Halac, Daniel Vega, Eduardo Heredia, Ariel Kleiman y Adriana Márquez
Actas del "13º Congreso Internacional en Ciencia y Tecnología de Metalurgia y Materiales" (SAM-CONAMET 2013), Puerto Iguazú, Misiones, Argentina, Agosto 20-23, 2013.
Memorias del 13er SAM-CONAMET CD-ROM, 1º edición, EdUNaM - Editorial Universitaria de la Universidad Nacional de Misiones, Posadas (2013)
Abstract
Se crecieron películas de TiO2 sobre sustratos de silicio (100) y acero inoxidable 316L mediante un arco catódico en atmósfera de oxígeno y con un cátodo de titanio. El proceso fue realizado a temperatura ambiente y a 300 ºC, polarizando el sustrato con voltaje pulsado (hasta -10 kV) y DC (hasta -120 V). Se estudió la estructura cristalina empleando espectroscopia Raman y difracción de rayos X. A temperatura ambiente se obtuvieron películas de TiO2 con una base amorfa con pequeños cristales aislados de rutilo y anatasa. A 300 ºC, empleando polarización DC, crecieron películas cristalinas con presencia de ambas fases, anatasa y rutilo.
DEPARTAMENTO FISICA DE LA MATERIA CONDENSADA
